产品描述 吸气方式:球面快速、分割、分段式吸气 ; 球面分割分段悬浮式快速吸气、改善传统吸气方式节省大量吸气时间、整面吸气从中心向四周扩散;曝光台面均经精密测试、曝光量均匀、均匀度高达85%以上;吸气、曝光、放气动作流程全自动完成;在曝光时可观查到曝